超迈动力产品在高精密大理石运动平台的应用

四大部件通过闭环控制协同保障高精度运行，核心逻辑如下：

1. 指令下达：上位机向控制器下发运动参数指令；

2. 驱动执行：控制器解析指令后下发给驱动器，驱动器驱动直线电机带动滑台运动；

3. 状态反馈：光栅尺反馈位移数据，驱动器反馈电机运行状态至控制器；

4. 精准调整：控制器对比参数偏差，下发调整指令，驱动器修正驱动信号，确保滑台精准运行。

控制器：

运动控制器是平台控制核心，接收上位机指令，结合光栅尺与驱动器反馈数据，通过轨迹规划算法下发控制指令，协调电机实现高精度定位、轨迹跟随等需求。

具备多轴同步控制、高精度轨迹规划功能，兼容性强，适配多轴检测等复杂场景，保障检测精度并方便平台调试升级。

电机：

直线电机采用直接驱动模式，消除传动间隙与摩擦损耗，是平台高精度动力核心。其定子固定于大理石基座，动子连接滑台，通过电磁力直接驱动滑台线性运动。

核心优势：定位精度达微米/纳米级，动态响应快、运行平稳无磨损，契合平台长期稳定需求，适配晶圆检测等精密场景。

 驱动器： 

伺服驱动器是控制器与直线电机的连接枢纽，负责解析控制指令、适配电能驱动电机，同时监测电机状态实现过流、过载等保护，避免平台运行中断。

采用矢量控制算法，精准控制电机电磁力，提升运行平稳性与定位精度，高速响应指令调整，适配电子元件贴装等高精度场景。 

光栅尺：

光栅尺是高精度位移感知核心，实时采集滑台位移数据并反馈给控制器形成闭环控制。其嵌入式安装于导轨旁，读数头与滑台刚性连接，规避振动影响。

多选用纳米级分辨率的增量式/绝对式光栅尺，抗干扰能力强，可将定位误差控制在±0.1μm内，保障光学元件装配等场景的精度与数据稳定。