Celera Motion MicroE Mercury II5000系列高精度增量式光栅尺 可达1.2nm分辨率

凭借高精度、小尺寸（传感器高度仅11毫米）和优异的抗噪性，MII5000系列广泛适用于半导体制造设备、精密机床、坐标测量机、直线电机平台以及医疗机器人等高端应用场景。 MII5000系列提供从5微米到1.2纳米的可调分辨率，线性玻璃尺精度可达±1微米，金属带状尺精度为±5微米/米。其低周期误差和低抖动特性，，能为直线电机、精密平台等应用提供更平滑的速度控制与更精确的快速定位。其业内最宽的安装对准公差（±2度），配合LED指示灯辅助，可在30秒内完成安装与校准。