Celera Motion MicroE Mercury II 6000V系列真空光栅尺 支持直线光栅尺圆光栅 小体积高精度 可达10-8 Torr

Mercury II 6000V系列是Microe为极端真空环境推出的高性能光学编码器，可在10⁻⁸ Torr真空下工作并承受150°C长达48小时的烘烤排气。其分辨率从5微米至1.2纳米可编程，采用20微米栅距的玻璃光栅尺，精度达±1微米，周期误差仅±20纳米，最大速度5米/秒，具有极低抖动。传感器尺寸紧凑，光栅尺宽度最窄仅6毫米，凭借±2度的大对准公差和内置光学零位与限位标记，安装调试极为简便。低功耗设计减少热辐射，数字接口输出并配有状态LED。该系列广泛用于晶圆处理、光刻机、精密直线电机及压电马达等高精密设备，是高真空环境下实现纳米级定位与平稳速度控制的理想解决方案。